Self Adjustment of Scanning Electron Microscopes / Selbstadaptivität von Rasterelektronenmikroskopen

TitleSelf Adjustment of Scanning Electron Microscopes / Selbstadaptivität von Rasterelektronenmikroskopen
Publication TypeJournal Article
Year of Publication2009
AuthorsStaudacher, M, Hamprecht, FA, Görlitz, L
JournalPatent, Patent Number WO2009062781A1
Citation Keystaudacher_09_selbstadaptivitaet