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Schnelle 3D-Vermessung von Partikeln in Rasterelektronenmiskroskopen mit Hilfe eines Rücksteuerdetektors

Title	Schnelle 3D-Vermessung von Partikeln in Rasterelektronenmiskroskopen mit Hilfe eines Rücksteuerdetektors
Publication Type	Miscellaneous
Year of Publication	2007
Authors	Görlitz, L, Singh, M, Schützbach, P
Citation Key	goerlitz_07_schnelle

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