Oberflächenkonturvermessung mikroskopischer Objekte durch Projektion statistischer Rauschmuster

TitleOberflächenkonturvermessung mikroskopischer Objekte durch Projektion statistischer Rauschmuster
Publication TypeConference Paper
Year of Publication1995
AuthorsScheuermann, T, Pfundt, G, Eyerer, P, Jähne, B
Conference NameProc. 17. DAGM-Symposium Mustererkennung, Bielefeld, 13.-15. September 1995
Citation Keyscheuermann1995